Care este marginea plată a unei plăci de siliciu?
Plat poate fi numit și o margine de poziționare.
Plachetele de siliciu de 2, 4 și 6-inchi nu sunt complet rotunde, dar au un colț tăiat. După ce lingoul de siliciu este scos prin metoda CZ, înainte de a fi tăiat în plachete de siliciu, odată ce orientarea cristalului este determinată, una sau mai multe margini plate vor fi tăiate pe lingou cu un ferăstrău cu diamant. Prin urmare, placheta de siliciu are 1-2 margini de poziționare, marginea de poziționare lungă este în partea de jos a plachetei, iar marginea de poziționare scurtă nu este fixată în poziție, schimbându-se cu orientarea cristalului și tipul de dopaj.
Care este relația dintre poziția marginii de poziționare și orientarea cristalului?
Există, în general, trei tipuri de orientări ale cristalelor pentru plachetele de siliciu:<111> <110> <100>.
Când unghiul dintre marginea de poziționare principală și marginea de poziționare secundară este de 45 de grade, tipul de placă de siliciu este de tip n<111>; când unghiul dintre marginea de poziționare principală și marginea de poziționare secundară este de 90 de grade, tipul de placă de siliciu este de tip p<100>; când unghiul dintre marginea de poziționare principală și marginea de poziționare secundară este de 180 de grade, tipul de placă de siliciu este de tip n<100>. Din momentul în care<110>orientarea cristalului nu este o orientare principală a cristalului plachetă de siliciu, nu există un standard care să o reprezinte. The<110>orientarea cristalului poate fi reprezentată conform standardelor proprii ale furnizorului de plachete de siliciu.
Lungimile marginilor de poziționare primară și secundară sunt fixe?
Da, deoarece trebuie să se potrivească cu echipamentele de fabricare a semiconductoarelor, lungimile și pozițiile marginilor de poziționare primară, primară și secundară sunt fixe.
În general, lungimea marginii de poziționare primară a unei plachete de siliciu de 2-inchi este de 15,8 mm, lungimea marginii de poziționare primară a unei plăci de siliciu de 4-inchi este de 32,5 mm și lungimea plăcii primare marginea de poziționare a unei plachete de siliciu de 6-inchi este de 57,5 mm. Lungimea marginii plate de poziționare secundară a unei plachete de siliciu de 4-inchi este de aproximativ 18 mm, iar lungimea marginii plate de poziționare secundară a unei plăci de siliciu de 6-inchi este de aproximativ 22 mm.
