După ce napolitana a trecut prin procesul front-end, pregătirea așchiilor este finalizată și trebuie tăiată pentru a separa chipsurile de pe napolitană și, în final, ambalată; în plus, există și unele procese și teste care necesită ca substratul plachetei de siliciu pur să fie tăiat în bucăți pătrate mici pentru utilizare.
Diferența dintre filmul UV și filmul albastru
Înainte de tăierea cubulețelor, un strat de film va fi lipit pe spatele plachetei. Funcția acestui strat de peliculă este de a lipi așchiul de film, ceea ce poate menține boabele intacte în timpul procesului de tăiere și poate reduce problemele de rupere, deplasare și cădere în timpul procesului de tăiere.
În producția efectivă, pelicula folosită pentru fixarea napolitanelor și a așchiilor folosește, în general, peliculă UV sau peliculă albastră.
Film UV: utilizat în principal în procesul de subțiere a napolitanelor;
Film albastru: utilizat în principal în procesul de tăiere a napolitanelor;
Figura 1. Caracteristicile peliculelor UV și albastre Filmele UV și albastre
Atât filmul UV, cât și filmul albastru sunt lipicioase. Gradul de aderență este exprimat în general prin gradul de peeling lipicios, de obicei în unități de N/20 mm sau N/25 mm. 1 N/20 mm înseamnă că banda de testare are 20 mm lățime și forța necesară pentru a o dezlipi de pe placa de testare la un unghi de exfoliere de 180 de grade este de 1 N.
Filmul UV este un strat special aplicat pe suprafața unui substrat de film PET pentru a bloca lumina ultravioletă și lumina vizibilă cu lungime de undă scurtă. Figura 2 este o diagramă generală a structurii filmului UV.
În general, filmul UV este format din trei straturi. Materialul de bază este clorură de polivinil, stratul lipicios este în mijloc, iar filmul de eliberare este adiacent stratului lipicios. Unele modele de filme UV nu au acest film de lansare.
Figura 2. Structura filmului UV
Filmul UV este de obicei numit bandă de iradiere ultravioletă. Este relativ scump și are o perioadă scurtă de valabilitate atunci când nu este utilizat. Este împărțit în trei tipuri: vâscozitate mare, vâscozitate medie și vâscozitate scăzută.
Vâscozitatea filmului UV de înaltă vâscozitate este de 5000mN/20mm ~ 12000mN/20mm înainte de iradierea cu ultraviolete. După iradierea cu ultraviolete, vâscozitatea de peeling este sub 1000mN/20mm;
Vâscozitatea de peeling a peliculei UV cu vâscozitate scăzută este de aproximativ 1000 mN/20 mm înainte de iradierea cu ultraviolete. După iradierea cu ultraviolete, vâscozitatea de peeling scade la aproximativ 100 mN/20 mm.
După iradierea cu ultraviolete, nu va exista adeziv rezidual pe suprafața plachetei filmului UV cu vâscozitate scăzută, iar boabele sunt ușor de îndepărtat.
Filmul UV are o expansiune adecvată, iar apa nu va pătrunde între bob și bandă în timpul procesului de subțiere și tăiere cubulețe.
Filmul albastru este de obicei numit bandă electronică. Este relativ ieftin. Este o peliculă albastră cu vâscozitate constantă. Gradul de peeling cu vâscozitate este în general 100~3000mN/20mm. Va produce adeziv rezidual din cauza influenței temperaturii. În schimb, pelicula UV este mai stabilă și are mai puțin adeziv rezidual decât pelicula albastră.
În comparație cu pelicula albastră, pelicula UV are mari avantaje datorită gradului de peeling cu vâscozitate variabilă. Principalele sale funcții sunt: de a fixa napolitana în timpul subțierii napolitanelor; pentru a proteja așchiul în timpul tăierii cubulețelor pentru a preveni căderea sau spargerea marginii; pentru a răsturna și a transporta napolitana pentru a preveni căderea așchiei deja tăiate cubulețe.
Standardizarea utilizării diverșilor parametri ai filmului UV și a peliculei albastre și selectarea peliculei UV sau a peliculei albastre adecvate în funcție de tehnologia de procesare cerută de cip poate economisi costuri și poate contribui la dezvoltarea industrială a cipurilor.
Tăierea cu lame sau tăierea cu lamă
Datorită frecării mari în timpul tăierii, apa DI (apă deionizată) trebuie pulverizată continuu din toate direcțiile. În plus, rotorul ar trebui să fie atașat cu particule de diamant, astfel încât să poată fi tăiat mai bine.
În acest moment, tăietura (grosimea lamei: lățimea canelurii) trebuie să fie uniformă și nu trebuie să depășească lățimea canelurii de scriere. Multă vreme, tăierea a fost cea mai utilizată metodă tradițională de tăiere, iar cel mai mare avantaj al ei este că poate tăia un număr mare de napolitane într-un timp scurt.
Cu toate acestea, dacă viteza de alimentare a feliei este mult crescută, va crește posibilitatea de decojire a marginii așchiilor mici. Prin urmare, numărul de rotații ale rotorului trebuie controlat de aproximativ 30 de 000 ori pe minut.
Optimizarea lamei
Pentru a face față noilor provocări de tăiere, este necesară colaborarea între sistemele de tăiere și lame. Acest lucru este valabil mai ales pentru aplicațiile high-end.
Lama joacă un rol major în optimizarea procesului. Pe lângă dimensiune, trei parametri cheie determină caracteristicile lamei: dimensiunea diamantului (abraziv), conținutul de diamant și tipul de liant.
Liantul este o matrice de diferite metale și/sau diamante abrazive distribuite în el. Alți factori, cum ar fi viteza de avans și viteza axului, pot afecta, de asemenea, selecția lamei.
